ZYGO三款光學輪廓儀對比

ZYGO的ZeGage Pro、NewView 9000和Nexview NX2均基于成熟的CSI技術(shù)，但在設(shè)計理念和應(yīng)用定位上各有側(cè)重，為用戶提供了不同層次的選擇。

定位與設(shè)計對比：

• ZeGage Pro：定位為便捷式解決方案。一體式設(shè)計使其開箱即可使用，減少了復(fù)雜的配置過程，適合空間有限的生產(chǎn)線或需要快速部署的實驗室。

• NewView 9000：定位為靈活可擴展的研發(fā)級平臺。模塊化設(shè)計允許用戶根據(jù)未來需求升級系統(tǒng)功能，適用于多變的研究和開發(fā)環(huán)境。

• Nexview NX2：定位為專用型在線檢測系統(tǒng)。其一切設(shè)計都圍繞處理大尺寸晶圓和實現(xiàn)全自動化檢測，專為半導(dǎo)體制造流程優(yōu)化。

性能與用途對比：
三款儀器在核心測量能力（垂直分辨率、精度）上均表現(xiàn)出色，但擴展性和專長不同。

• ZeGage Pro：覆蓋從光滑到粗糙表面的常規(guī)測量需求，勝任日常質(zhì)檢。

• NewView 9000：通過更換物鏡和添加模塊，可應(yīng)對更廣泛的樣品類型和更復(fù)雜的分析任務(wù)，如薄膜應(yīng)力。

• Nexview NX2：專注于半導(dǎo)體行業(yè)，其價值體現(xiàn)在全自動、大批量的晶圓處理和分析能力上，速度和自動化可靠性是關(guān)鍵。

選擇建議：
用戶應(yīng)根據(jù)自身的樣品尺寸、通量要求、檢測環(huán)境（實驗室或產(chǎn)線）以及未來需求來選擇。對于常規(guī)質(zhì)檢，ZeGage Pro可能更為經(jīng)濟高效；對于前沿研發(fā)，NewView 9000提供更多可能性；而對于半導(dǎo)體產(chǎn)線，Nexview NX2則是經(jīng)過市場驗證的專業(yè)選擇。

ZYGO三款光學輪廓儀對比