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產(chǎn)品中心光學(xué)顯微鏡徠卡光學(xué)顯微鏡徠卡光學(xué)顯微鏡DM8000M大型半導(dǎo)體檢測利器
產(chǎn)品簡介
徠卡光學(xué)顯微鏡DM8000M大型半導(dǎo)體檢測利器面對(duì)復(fù)雜材料分析需求，傳統(tǒng)顯微鏡的操作繁瑣性與結(jié)果重復(fù)性成為制約效率的關(guān)鍵因素。徠卡全自動(dòng)智能型正置金相顯微鏡DM6M，以智能化設(shè)計(jì)重新定義材料檢測流程。
產(chǎn)品分類
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，晶圓缺陷檢測的效率與準(zhǔn)確性直接影響產(chǎn)線良率。徠卡大型自動(dòng)型半導(dǎo)體檢查顯微鏡DM8000M，以大視野設(shè)計(jì)與高速成像能力，為8英寸/12英寸晶圓檢測提供解決方案。
DM8000M采用宏觀檢查模式與傾斜紫外光路（OUV）技術(shù)，可在單次掃描中覆蓋300mm直徑晶圓，較傳統(tǒng)顯微鏡產(chǎn)能提升3倍。其配備的1.25倍全景物鏡結(jié)合復(fù)消色差光路，有效消除色差干擾，確保邊緣區(qū)域成像清晰度。
該顯微鏡的電動(dòng)載物臺(tái)支持X-Y方向高速移動(dòng)（精度<30μm），配合智能路徑規(guī)劃算法，可自動(dòng)避開晶圓邊緣劃痕區(qū)域。其低熱輻射LED照明系統(tǒng)與一體化機(jī)身設(shè)計(jì)，減少環(huán)境溫度波動(dòng)對(duì)檢測結(jié)果的影響，符合半導(dǎo)體制造的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。
| 參數(shù)類別 | 詳細(xì)規(guī)格 |
|---|---|
| 觀察范圍 | 支持12英寸（300mm）晶圓檢測 |
| 物鏡 | 1.25倍全景物鏡，NA=0.04 |
| 載物臺(tái) | 電動(dòng)掃描平臺(tái)，最大承重5kg |
| 照明系統(tǒng) | LED傾斜紫外光源，波長365nm |
| 成像速度 | 全片掃描時(shí)間<5分鐘（12英寸晶圓） |
| 軟件功能 | 自動(dòng)缺陷分類、顆粒計(jì)數(shù)、坐標(biāo)定位 |
DM8000M主要用于晶圓表面顆粒污染檢測、光刻膠殘留分析等場景。以硅片刻蝕工藝檢測為例，用戶將晶圓放置于載物臺(tái)后，通過軟件設(shè)置檢測區(qū)域與缺陷閾值，系統(tǒng)將自動(dòng)完成掃描并標(biāo)記超標(biāo)顆粒位置。其生成的檢測報(bào)告包含缺陷尺寸、分布密度等關(guān)鍵參數(shù)，為工藝優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支持。該設(shè)備還可選配熒光觀察模塊，用于檢測有機(jī)污染物殘留。
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