布魯克解鎖微觀形貌的“透視之眼"

在半導(dǎo)體制造、精密加工與材料科學(xué)領(lǐng)域，表面形貌的微小起伏往往決定著產(chǎn)品的性能與壽命。如何實(shí)現(xiàn)非接觸、高效率的納米級(jí)三維測(cè)量？布魯克ContourX-200三維光學(xué)輪廓儀以創(chuàng)新技術(shù)突破傳統(tǒng)局限，為實(shí)驗(yàn)室與生產(chǎn)線提供了一款兼具靈活性與專業(yè)性的表面計(jì)量解決方案。

核心性能：從亞納米到毫米級(jí)的全量程覆蓋

ContourX-200基于布魯克四十年白光干涉（WLI）技術(shù)積累，通過雙色LED光源與多鏡頭系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了垂直分辨率≤0.01nm、水平分辨率0.13μm（AcuityXR模式下）的亞納米級(jí)精度。其最大掃描量程達(dá)10mm，可覆蓋從MEMS器件到大型精密零件的測(cè)量需求，無需拼接即可完成全尺寸表面形貌分析。設(shè)備支持2.5X至115X的物鏡組合，搭配500萬像素?cái)z像頭與150mm×150mm電動(dòng)XY載物臺(tái)，兼顧大視場(chǎng)與高分辨率，單次測(cè)量采樣點(diǎn)數(shù)超120萬，顯著提升數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)效率。

用材與結(jié)構(gòu)：穩(wěn)定與靈活的平衡之道

設(shè)備主體采用高剛性航空鋁材與精密導(dǎo)軌，配合主動(dòng)防震臺(tái)設(shè)計(jì)，有效隔離環(huán)境振動(dòng)干擾，確保測(cè)量重復(fù)性≤0.1%（1σ標(biāo)準(zhǔn)差）。電動(dòng)載物臺(tái)支持±6°傾斜校正與100mm垂直行程，可適配曲面、傾斜樣品及微小零件的定位需求。針對(duì)不同反射率表面（0.05%-100%），設(shè)備配備雙色照明系統(tǒng)與自適應(yīng)光強(qiáng)調(diào)節(jié)算法，從高反金屬到低反聚合物均能清晰成像，避免傳統(tǒng)共聚焦顯微鏡的信號(hào)衰減問題。

參數(shù)速覽：技術(shù)細(xì)節(jié)一目了然

應(yīng)用場(chǎng)景：從研發(fā)到量產(chǎn)的全流程支持

• 半導(dǎo)體行業(yè)：測(cè)量晶圓表面平坦度、薄膜臺(tái)階高度，支持RD進(jìn)封裝工藝的厚度分析。

• 精密制造：檢測(cè)刀具、模具表面光潔度，量化磨損量與紋理方向。

• 材料科學(xué)：分析涂層、鍍層的表面質(zhì)量，對(duì)比磨損前后的形貌變化。

• 醫(yī)療器械：評(píng)估人工關(guān)節(jié)、植入物的表面粗糙度，確保生物相容性。

操作體驗(yàn)：智能化設(shè)計(jì)降低使用門檻

設(shè)備搭載VisionXpress™簡化版軟件，提供一鍵式自動(dòng)對(duì)焦、強(qiáng)度調(diào)節(jié)與數(shù)據(jù)保存功能，新用戶經(jīng)短期培訓(xùn)即可完成基礎(chǔ)測(cè)量。對(duì)于高階需求，Vision64®軟件支持ISO 25178、ASME B46.1等國際標(biāo)準(zhǔn)分析，提供Sa、Sq、Sz等200余種粗糙度參數(shù)，并可生成定制化報(bào)告。通過批量處理腳本與TCP/IP接口，設(shè)備可無縫集成至自動(dòng)化生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)24小時(shí)無人值守運(yùn)行。

結(jié)語：以細(xì)節(jié)定義專業(yè)，以靈活賦能創(chuàng)新

ContourX-200三維光學(xué)輪廓儀憑借其全量程覆蓋能力、多場(chǎng)景適應(yīng)性及智能化操作，成為表面計(jì)量領(lǐng)域的“多面手"。無論是高校實(shí)驗(yàn)室的前沿研究，還是工業(yè)車間的過程監(jiān)控，它都能以可靠的性能與靈活的配置，助力用戶解鎖微觀世界的更多可能。