ZYGO ZeGage Pro：3D 輪廓檢測(cè)新選擇
在精密制造、半導(dǎo)體、光學(xué)元件等領(lǐng)域，對(duì)物體表面微觀形貌的精準(zhǔn)檢測(cè)是保障產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。ZYGO 推出的 3D 光學(xué)輪廓儀 ZeGage Pro，憑借優(yōu)良的光學(xué)檢測(cè)技術(shù)、穩(wěn)定的性能及豐富的功能，為各行業(yè)提供高效的表面輪廓檢測(cè)方案，助力用戶深入了解樣品表面的三維特征。
從產(chǎn)品細(xì)節(jié)來(lái)看，ZYGO ZeGage Pro 采用緊湊式機(jī)身設(shè)計(jì)，整體結(jié)構(gòu)穩(wěn)固，占地面積小，可靈活放置在實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)車間的檢測(cè)區(qū)域。設(shè)備搭載高分辨率成像系統(tǒng)，核心光學(xué)部件選用高透光率光學(xué)玻璃，配合精密的光學(xué)鏡頭組，能有效減少光線折射與散射帶來(lái)的干擾，確保檢測(cè)圖像的清晰度。檢測(cè)平臺(tái)采用高精度平移臺(tái)，臺(tái)面材質(zhì)為耐磨不銹鋼，表面經(jīng)過(guò)特殊處理，平整度高，可穩(wěn)定放置不同規(guī)格的樣品，同時(shí)平移臺(tái)的移動(dòng)精度高，能精準(zhǔn)將樣品送至檢測(cè)區(qū)域，保證檢測(cè)位置的準(zhǔn)確性。
產(chǎn)品性能方面，ZYGO ZeGage Pro 具備出色的檢測(cè)分辨率，垂直分辨率可達(dá)納米級(jí)別，能清晰捕捉樣品表面微小的高低起伏變化，如微米級(jí)的劃痕、凸起或凹陷。設(shè)備的檢測(cè)范圍可根據(jù)需求調(diào)整，最小檢測(cè)區(qū)域可至幾微米，最大檢測(cè)區(qū)域能覆蓋數(shù)毫米，滿足從小尺寸精密元件到較大樣品表面的檢測(cè)需求。檢測(cè)速度較快，完成一次常規(guī)樣品的 3D 輪廓掃描僅需幾分鐘，大幅縮短檢測(cè)周期，提高檢測(cè)效率。此外，設(shè)備還具備良好的重復(fù)性，對(duì)同一樣品多次檢測(cè)，結(jié)果偏差較小，確保檢測(cè)數(shù)據(jù)的可靠性。
用材上，除核心光學(xué)部件采用高透光率光學(xué)玻璃外，設(shè)備的機(jī)身框架選用高強(qiáng)度鋁合金材料，這種材料不僅重量輕，還具備良好的抗振動(dòng)性能，能減少外部環(huán)境振動(dòng)對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響。檢測(cè)平臺(tái)的不銹鋼臺(tái)面耐磨損、抗腐蝕，長(zhǎng)期使用后仍能保持較好的平整度，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。設(shè)備內(nèi)部的電子元件均選用優(yōu)質(zhì)品牌產(chǎn)品，確保電路系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行，降低設(shè)備故障概率。
ZYGO ZeGage Pro 的用途廣泛。在半導(dǎo)體行業(yè)，可用于檢測(cè)芯片表面的平整度、線路的高度差及缺陷，確保芯片的性能與可靠性；在光學(xué)元件制造領(lǐng)域，能檢測(cè)透鏡、棱鏡等表面的曲率、面型誤差，保障光學(xué)元件的成像質(zhì)量；在精密模具行業(yè)，可對(duì)模具表面的紋理、尺寸精度進(jìn)行檢測(cè)，為模具的加工優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支持；在醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域，能檢測(cè)醫(yī)療植入體表面的粗糙度，確保其生物相容性與使用安全性。
使用說(shuō)明方面，以檢測(cè)光學(xué)透鏡表面面型誤差為例，操作步驟如下：首先，將待檢測(cè)的光學(xué)透鏡放置在檢測(cè)平臺(tái)的中心位置，調(diào)整樣品固定裝置，確保透鏡穩(wěn)定且不產(chǎn)生變形；然后，打開設(shè)備配套的檢測(cè)軟件，在軟件界面中設(shè)置檢測(cè)參數(shù)，如檢測(cè)區(qū)域大小、掃描分辨率、檢測(cè)速度等，根據(jù)透鏡的尺寸與檢測(cè)需求，選擇合適的參數(shù)；接著，啟動(dòng)檢測(cè)程序，設(shè)備會(huì)自動(dòng)控制平移臺(tái)移動(dòng)，帶動(dòng)樣品進(jìn)行掃描，同時(shí)光學(xué)系統(tǒng)采集樣品表面的光學(xué)信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)化為三維輪廓數(shù)據(jù)；檢測(cè)完成后，軟件會(huì)自動(dòng)生成 3D 輪廓圖像及相關(guān)檢測(cè)報(bào)告，報(bào)告中包含表面粗糙度、面型誤差、曲率半徑等關(guān)鍵參數(shù)，用戶可根據(jù)報(bào)告分析透鏡表面的質(zhì)量狀況，判斷是否符合生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)；最后，關(guān)閉檢測(cè)程序，取下樣品，清潔檢測(cè)平臺(tái)，為下一次檢測(cè)做好準(zhǔn)備。
ZYGO ZeGage Pro 參數(shù)表：
ZYGO 3D 光學(xué)輪廓儀 ZeGage Pro 以其精準(zhǔn)的檢測(cè)能力、穩(wěn)定的性能、優(yōu)質(zhì)的用材及便捷的操作，成為各行業(yè)表面輪廓檢測(cè)的可靠工具，為產(chǎn)品質(zhì)量控制與研發(fā)創(chuàng)新提供有力的數(shù)據(jù)支持。
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