ZYGOZeGage Pro 結(jié)構(gòu)與參數(shù)：可靠測(cè)量保障

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

ZYGOZeGage Pro 結(jié)構(gòu)與參數(shù)：可靠測(cè)量保障
ZeGage Pro 采用緊湊型臺(tái)式設(shè)計(jì)，機(jī)身尺寸約 550mm×480mm×700mm，重量約 65kg，無(wú)需專用安裝空間，普通實(shí)驗(yàn)室操作臺(tái)即可放置，節(jié)省場(chǎng)地資源。機(jī)身外殼選用高強(qiáng)度冷軋鋼板，表面經(jīng)過(guò)靜電噴塑處理，具有良好的抗腐蝕、抗劃傷性能，長(zhǎng)期使用仍能保持外觀整潔，同時(shí)有效隔絕外部環(huán)境對(duì)內(nèi)部光學(xué)系統(tǒng)的干擾。

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更新時(shí)間：2025-10-23

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激光干涉儀

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ZYGOZeGage Pro 結(jié)構(gòu)與參數(shù)：可靠測(cè)量保障

ZeGage Pro 采用緊湊型臺(tái)式設(shè)計(jì)，機(jī)身尺寸約 550mm×480mm×700mm，重量約 65kg，無(wú)需專用安裝空間，普通實(shí)驗(yàn)室操作臺(tái)即可放置，節(jié)省場(chǎng)地資源。機(jī)身外殼選用高強(qiáng)度冷軋鋼板，表面經(jīng)過(guò)靜電噴塑處理，具有良好的抗腐蝕、抗劃傷性能，長(zhǎng)期使用仍能保持外觀整潔，同時(shí)有效隔絕外部環(huán)境對(duì)內(nèi)部光學(xué)系統(tǒng)的干擾。

ZYGOZeGage Pro 結(jié)構(gòu)與參數(shù)：可靠測(cè)量保障

核心光學(xué)系統(tǒng)密封在獨(dú)立的防塵艙內(nèi)，艙體采用密封膠條密封，防止灰塵、水汽進(jìn)入，保障光學(xué)元件清潔，避免因污染影響成像質(zhì)量。鏡頭接口采用標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì)，兼容 8 種常用倍率物鏡，更換物鏡時(shí)只需輕輕旋轉(zhuǎn)即可裝卸，無(wú)需復(fù)雜的校準(zhǔn)步驟，軟件會(huì)自動(dòng)識(shí)別物鏡型號(hào)并匹配相應(yīng)參數(shù)，減少操作時(shí)間。樣品臺(tái)是設(shè)備的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)之一，采用精密滾珠導(dǎo)軌，導(dǎo)軌表面覆蓋耐磨涂層，確保長(zhǎng)期移動(dòng)后仍能保持精度。樣品臺(tái) X 軸、Y 軸移動(dòng)范圍均為 80mm，Z 軸移動(dòng)范圍為 40mm，搭配高精度光柵尺，移動(dòng)精度可達(dá) 0.05μm，能精準(zhǔn)定位樣品測(cè)量位置。

以下為 ZeGage Pro 核心參數(shù)表：

參數(shù)類別	具體參數(shù)
測(cè)量技術(shù)	相移干涉、動(dòng)態(tài)干涉、共聚焦成像
橫向分辨率	0.15μm（20x 物鏡）
縱向分辨率	0.1nm（相移干涉模式）
掃描范圍	X/Y 軸：80mm×80mm，Z 軸：40mm
樣品臺(tái)承重	15kg
樣品臺(tái)移動(dòng)精度	0.05μm（XYZ 軸）
傳感器幀率	120 幀 / 秒