Linkam 高溫真空熱臺(tái)維護(hù)與故障排查指南

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Linkam 高溫真空熱臺(tái)維護(hù)與故障排查指南
設(shè)備的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行離不開規(guī)范維護(hù)。本文針對(duì)TS1500V的常見維護(hù)項(xiàng)目與故障處理方法展開說明，幫助用戶延長(zhǎng)設(shè)備壽命。

產(chǎn)品型號(hào)：TS1500V

更新時(shí)間：2025-10-23

廠商性質(zhì)：代理商

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設(shè)備的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行離不開規(guī)范維護(hù)。本文針對(duì)TS1500V的常見維護(hù)項(xiàng)目與故障處理方法展開說明，幫助用戶延長(zhǎng)設(shè)備壽命。

真空腔清潔：每月用無水乙醇擦拭腔體內(nèi)壁，去除樣品殘留的有機(jī)物；避免使用鋼絲球等硬物刮擦，防止劃傷拋光面。
密封件檢查：每季度檢查O型圈與法蘭接觸處，若出現(xiàn)裂紋或硬化（拉伸后無法復(fù)原），需更換氟橡膠密封圈（兼容真空環(huán)境）。
加熱元件檢測(cè)：每年用萬用表測(cè)量鉬絲電阻值（標(biāo)準(zhǔn)值約15Ω），若偏差超過20%，可能因局部熔斷導(dǎo)致加熱不均，需更換。
控制系統(tǒng)校準(zhǔn)：每半年檢查上位機(jī)軟件與設(shè)備的通訊狀態(tài)，重新連接串口并測(cè)試指令響應(yīng)時(shí)間（應(yīng)＜0.5秒）。

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真空度無法達(dá)標(biāo)：可能原因包括密封圈老化、泵組故障或腔體泄漏。排查步驟：先更換密封圈，若無效則檢查機(jī)械泵油位（需保持在視鏡中線），最后用檢漏儀定位泄漏點(diǎn)。
溫度超調(diào)：多因PID參數(shù)設(shè)置不當(dāng)?？蓢L試恢復(fù)出廠參數(shù)，或根據(jù)樣品類型重新整定（如陶瓷樣品增大積分系數(shù)，金屬樣品減小比例系數(shù)）。
樣品臺(tái)卡阻：長(zhǎng)期高溫可能導(dǎo)致陶瓷樣品臺(tái)與支架輕微粘連。解決方法是冷卻至室溫后，用軟質(zhì)鑷子輕推樣品臺(tái)，或在接觸面涂抹少量高溫潤(rùn)滑脂（需耐1500℃）。