Sensofar白光干涉光學(xué)輪廓儀的測量模式白光干涉光學(xué)輪廓儀通常配備多種測量模式，以適應(yīng)不同表面特性的樣品。Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀將共聚焦、白光干涉和相位差干涉等多種技術(shù)集成于一體，用戶可以通過軟件一鍵切換，無需更換硬件組件。

白光干涉模式適用于光滑表面和具有高深寬比結(jié)構(gòu)的測量。在這種模式下，儀器通過垂直掃描捕獲干涉條紋，利用干涉信號的對比度變化來計(jì)算表面高度信息。白光干涉模式能夠提供亞納米級的縱向分辨率，適合測量超光滑表面的平面度和粗糙度。

共聚焦模式則更適合測量傾斜角較大的漫反射表面或粗糙表面。該模式利用激光的共聚焦原理，通過逐點(diǎn)掃描的方式獲取表面形貌數(shù)據(jù)。共聚焦模式具有較高的橫向分辨率，能夠測量近乎垂直的斜坡面形貌，這對于某些工業(yè)應(yīng)用來說非常有用。

相位差干涉模式是另一種常用的測量方式，它通過分析干涉信號的相位信息來提取表面高度數(shù)據(jù)。這種模式適用于測量表面高度變化較小的樣品，能夠提供較高的縱向分辨率。相位差干涉模式通常與白光干涉模式結(jié)合使用，以擴(kuò)展儀器的測量范圍。

Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀還引入了融合共聚焦掃描模式，將共聚焦和多焦面疊加兩種技術(shù)的優(yōu)勢結(jié)合起來。這種模式能夠測量最大86度的斜坡，同時(shí)保持納米級的縱向精度，為復(fù)雜表面的測量提供了更多可能性。

此外，儀器還配備了智能噪音檢測功能，能夠識別并消除測量過程中的不可靠數(shù)據(jù)像素，提高圖像質(zhì)量。與傳統(tǒng)的空間平均技術(shù)相比，這種逐像素處理的方法可以在不損失橫向分辨率的情況下減少噪點(diǎn)。

用戶可以根據(jù)樣品的表面特性選擇最合適的測量模式。例如，對于半導(dǎo)體晶片等光滑表面，白光干涉模式可能更合適；而對于模具表面等粗糙樣品，共聚焦模式可能更能滿足測量需求。Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀的多模式設(shè)計(jì)使其能夠適應(yīng)從粗糙到超光滑的各種表面測量任務(wù)。

總之，白光干涉光學(xué)輪廓儀通過提供多種測量模式，為用戶提供了靈活的表面形貌測量解決方案。這種多功能性使其能夠應(yīng)對不同行業(yè)的多樣化需求，從實(shí)驗(yàn)室研究到工業(yè)生產(chǎn)線都能發(fā)揮其作用。Sensofar白光干涉光學(xué)輪廓儀的測量模式