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三維光學(xué)輪廓儀
Sensofar
Sensofar 3D光學(xué)輪廓儀的微電子檢測
產(chǎn)品簡介
Sensofar 3D光學(xué)輪廓儀的微電子檢測:Sensofar S neox可高精度測量晶圓凸點、再布線線路及硅通孔的三維形貌與尺寸,為先進封裝工藝提供快速、可靠的晶圓級質(zhì)量監(jiān)控方案。
Sensofar 3D光學(xué)輪廓儀的微電子檢測
封裝體的翹曲變形分析也是重要應(yīng)用領(lǐng)域。通過全場測量,可以獲取封裝體在溫度變化過程中的形變數(shù)據(jù),分析熱應(yīng)力分布。這些信息對優(yōu)化封裝結(jié)構(gòu)和材料選擇具有指導(dǎo)意義,有助于提高封裝產(chǎn)品的可靠性。
Sensofar 3D光學(xué)輪廓儀的微電子檢測
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