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三維光學(xué)輪廓儀
Sensofar
Sensofar 輪廓儀:白光干涉共聚焦技術(shù)淺析
產(chǎn)品簡介
Sensofar 輪廓儀:白光干涉共聚焦技術(shù)淺析:白光干涉共聚焦顯微鏡是一種高精度3D光學(xué)輪廓儀,它融合白光干涉與共聚焦技術(shù),實現(xiàn)非接觸、三維表面形貌測量,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、精密制造及材料科學(xué)等領(lǐng)域。
Sensofar 輪廓儀:白光干涉共聚焦技術(shù)淺析:
在眾多表面形貌測量方法中,光學(xué)法因其非接觸、速度快等特點受到關(guān)注。3D光學(xué)輪廓儀是一個類別,它包含多種基于不同光學(xué)原理的技術(shù),白光干涉共聚焦顯微鏡是其中具有代表性的一種。本文旨在淺析這項技術(shù)如何為三維表面輪廓測量提供一種解決方案。
總體而言,基于白光干涉共聚焦技術(shù)的3D光學(xué)輪廓儀,為表面三維形貌的定量化表征提供了一種有用的技術(shù)選擇。它平衡了測量范圍、精度和速度,在工業(yè)檢測與科學(xué)研究中扮演著一定的角色。隨著相關(guān)光學(xué)、電子與計算技術(shù)的進(jìn)步,其功能與易用性有望得到進(jìn)一步優(yōu)化。
Sensofar 輪廓儀:白光干涉共聚焦技術(shù)淺析
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