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ZYGO光學(xué)輪廓儀操作：輕松上手的測量工具 ZYGO Nexview™ NX2 光學(xué)輪廓儀在操作設(shè)計(jì)上，充分考慮不同用戶的使用習(xí)慣，讓新手也能快速熟悉測量流程。

ZYGOZeGage Pro 維護(hù)延長設(shè)備使用壽命方法 ZeGage Pro 的日常維護(hù)操作簡單，通過規(guī)范的維護(hù)流程，可有效延長設(shè)備使用壽命，保證測量精度長期穩(wěn)定。

ZYGO ZeGage Pro 應(yīng)用：覆蓋多行業(yè)測量場景 ZeGage Pro 憑借靈活的測量能力，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)制造、汽車、生物醫(yī)學(xué)等多個(gè)行業(yè)，為不同領(lǐng)域的檢測需求提供支持。

ZYGOZeGage Pro 適配：應(yīng)對(duì)多樣檢測需求 ZeGage Pro 通過豐富的輔助配件與軟件功能，適配不同樣品類型與檢測場景，滿足多樣化測量需求。

ZYGOZeGage Pro 結(jié)構(gòu)與參數(shù)：可靠測量保障 ZeGage Pro 采用緊湊型臺(tái)式設(shè)計(jì)，機(jī)身尺寸約 550mm×480mm×700mm，重量約 65kg，無需專用安裝空間，普通實(shí)驗(yàn)室操作臺(tái)即可放置，節(jié)省場地資源。機(jī)身外殼選用高強(qiáng)度冷軋鋼板，表面經(jīng)過靜電噴塑處理，具有良好的抗腐蝕、抗劃傷性能，長期使用仍能保持外觀整潔，同時(shí)有效隔絕外部環(huán)境對(duì)內(nèi)部光學(xué)系統(tǒng)的干擾。

ZYGO ZeGage Pro 技術(shù)：多原理支撐測量方案 ZeGage Pro 依托多種成熟光學(xué)測量技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同表面特性樣品的精準(zhǔn)檢測。其核心技術(shù)包括相移干涉（PSI）與動(dòng)態(tài)干涉（DI），相移干涉技術(shù)通過控制參考鏡的微小位移，采集多幅具有不同相位差的干涉圖像，再通過算法提取樣品表面高度信息，適用于超光滑表面測量，縱向分辨率可達(dá)到 0.1nm