ZYGO光學(xué)輪廓儀：多原理助力精準(zhǔn)測(cè)量
Nexview™ NX2 光學(xué)輪廓儀依托多種成熟的光學(xué)測(cè)量技術(shù)，為不同特性樣品的檢測(cè)提供支持。其中，白光干涉技術(shù)是核心技術(shù)之一，該技術(shù)通過(guò)將白光光源分為參考光與測(cè)量光，兩束光分別經(jīng)參考鏡與樣品表面反射后重新匯合，產(chǎn)生干涉條紋，系統(tǒng)通過(guò)垂直掃描采集不同位置的干涉信號(hào)，再經(jīng)算法處理重建樣品的三維形貌，縱向分辨率可達(dá) 0.05nm，適用于超光滑表面如光學(xué)鏡片、半導(dǎo)體晶圓的測(cè)量。
共聚焦技術(shù)則針對(duì)粗糙表面樣品設(shè)計(jì)，當(dāng)光線(xiàn)通過(guò)針孔光源照射到樣品表面時(shí)，只有聚焦在樣品焦平面上的光線(xiàn)能通過(guò)接收針孔被傳感器捕捉，非焦平面光線(xiàn)被過(guò)濾，從而清晰呈現(xiàn)樣品表面的微觀(guān)紋理，搭配軟件中的 “紋理分析" 功能，可快速獲取表面粗糙度、紋理方向等參數(shù)，適用于模具、機(jī)械零件等粗糙表面的檢測(cè)。動(dòng)態(tài)測(cè)量技術(shù)通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品的微小振動(dòng)，自動(dòng)調(diào)整測(cè)量參數(shù)補(bǔ)償振動(dòng)影響，即使在生產(chǎn)車(chē)間等存在輕微振動(dòng)的環(huán)境中，也能保證測(cè)量數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性，滿(mǎn)足在線(xiàn)檢測(cè)需求。
核心光學(xué)部件的選材與工藝同樣注重性能保障，光學(xué)鏡頭采用低色散光學(xué)玻璃，經(jīng)過(guò)多道研磨與拋光工藝處理，減少光線(xiàn)在傳播過(guò)程中的色散與畸變；鏡頭表面鍍有多層增透膜，透光率提升至 95% 以上，降低光線(xiàn)反射損失，確保成像質(zhì)量。圖像傳感器選用高靈敏度 CMOS 芯片，像素尺寸達(dá) 3.45μm，在 150 幀 / 秒的高速采集速度下，仍能保持 0.1μm 的橫向分辨率，可清晰捕捉樣品表面的微小缺陷如劃痕、凹陷等。此外，設(shè)備還搭載了環(huán)境自適應(yīng)系統(tǒng)，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溫度、濕度與氣壓變化，當(dāng)環(huán)境參數(shù)發(fā)生波動(dòng)時(shí)，自動(dòng)調(diào)整光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)，確保測(cè)量結(jié)果不受環(huán)境影響，在溫度波動(dòng) ±1℃、濕度 30%-70% 的環(huán)境中仍能穩(wěn)定工作。
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