ZYGO光學(xué)輪廓儀結(jié)構(gòu)與參數(shù)：可靠的測(cè)量基礎(chǔ)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

ZYGO光學(xué)輪廓儀結(jié)構(gòu)與參數(shù)：可靠的測(cè)量基礎(chǔ)
光學(xué)輪廓儀依托多種成熟的光學(xué)測(cè)量技術(shù)，為不同特性樣品的檢測(cè)提供支持。

產(chǎn)品型號(hào)：ZYGO Nexview NX2

更新時(shí)間：2025-10-23

廠商性質(zhì)：代理商

訪問(wèn)量：172

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激光干涉儀

ZYGO光學(xué)輪廓儀 Zygo激光干涉儀

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ZYGO光學(xué)輪廓儀結(jié)構(gòu)與參數(shù)：可靠的測(cè)量基礎(chǔ)

Nexview™ NX2 光學(xué)輪廓儀采用臺(tái)式一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，機(jī)身尺寸約 620mm×580mm×750mm，重量約 80kg，無(wú)需專用的大型安裝場(chǎng)地，普通實(shí)驗(yàn)室操作臺(tái)即可放置，節(jié)省空間資源。機(jī)身外殼選用高強(qiáng)度鋁合金材料，經(jīng)過(guò)陽(yáng)極氧化處理，表面形成堅(jiān)硬的氧化膜，具有良好的抗腐蝕、抗劃傷性能，長(zhǎng)期使用后仍能保持外觀整潔，同時(shí)鋁合金材質(zhì)的散熱性能較好，有助于設(shè)備內(nèi)部元件保持穩(wěn)定工作溫度。

核心光學(xué)系統(tǒng)密封在獨(dú)立的防塵防潮艙內(nèi)，艙體采用雙層密封結(jié)構(gòu)，內(nèi)層為橡膠密封膠條，外層為金屬蓋板，有效防止灰塵、水汽進(jìn)入光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)部，避免光學(xué)元件污染影響測(cè)量精度；艙體側(cè)面設(shè)有觀察窗，采用高透光率光學(xué)玻璃，方便用戶觀察測(cè)量過(guò)程中樣品的狀態(tài)。鏡頭接口采用標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì)，兼容 10 種常用倍率的物鏡，從 2.5x 到 100x 不等，更換物鏡時(shí)只需輕輕旋轉(zhuǎn)鏡頭即可完成裝卸，軟件會(huì)自動(dòng)識(shí)別物鏡型號(hào)并匹配相應(yīng)的測(cè)量參數(shù)，無(wú)需手動(dòng)校準(zhǔn)，減少操作時(shí)間。

樣品臺(tái)是設(shè)備的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)，采用精密滾珠絲杠傳動(dòng)，導(dǎo)軌表面覆蓋聚四氟乙烯耐磨涂層，減少摩擦損耗，延長(zhǎng)使用壽命，同時(shí)保證移動(dòng)的平穩(wěn)性。樣品臺(tái) X 軸與 Y 軸的移動(dòng)范圍均為 120mm，Z 軸移動(dòng)范圍為 60mm，搭配高精度光柵尺，移動(dòng)精度可達(dá) 0.02μm，能精準(zhǔn)定位測(cè)量區(qū)域。以下為 Nexview™ NX2 核心參數(shù)表：

參數(shù)類別	具體參數(shù)
測(cè)量技術(shù)	白光干涉、共聚焦、動(dòng)態(tài)測(cè)量
橫向分辨率	0.1μm（100x 物鏡）
縱向分辨率	0.05nm（白光干涉模式）
掃描范圍	X/Y 軸：120mm×120mm，Z 軸：60mm
樣品臺(tái)承重	20kg
樣品臺(tái)移動(dòng)精度	0.02μm（XYZ 軸）
傳感器幀率	150 幀 / 秒

軟件方面，內(nèi)置 ISO 4287、GB/T 1031 等國(guó)內(nèi)外通用的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)算法，確保測(cè)量數(shù)據(jù)符合行業(yè)規(guī)范；支持與 CAD、MATLAB 等軟件的數(shù)據(jù)互通，方便用戶進(jìn)行后續(xù)的數(shù)據(jù)分析與建模；同時(shí)提供自定義算法接口，專業(yè)用戶可根據(jù)需求開發(fā)專屬的數(shù)據(jù)分析算法，拓展設(shè)備的應(yīng)用范圍。

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